KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點

大抽氣速率：抽氣速率為 58L/s，最大抽速可達 1300L/min，能夠快速有效地抽取氣體，適用于需要大排量抽氣的應用場景，如大尺寸晶圓和 FPD 基板的處理。

節能：屬于節能型產品，功率為 1.3kW，相比傳統類型可降低 54% 的功耗，通過參數優化，在保證性能的同時實現了能源的有效利用。

極限壓力低：極限壓力可達 57Pa，能提供較高的真空度，滿足對真空環境要求較高的工藝需求。

耐用性強：SDE-X 系列注重在惡劣工藝條件下的耐用性，采用耐腐蝕的結構材料并具備溫度控制功能，可承受各種復雜的工藝流程，適合連續運轉，減少故障發生頻率。

適應性廣：可通過各種設置來適應廣泛的工藝需求，對于含有水蒸氣或水滴的氣體、易燃或腐蝕性氣體等都能夠有效排出。

噪音低、振動小：運行時產生的噪音和振動較小，有助于營造相對安靜的工作環境，同時也減少了對周邊設備和環境的影響。

維護方便：軸封采用機械密封，這種設計便于維護和保養，降低了維護成本和停機時間。

結構緊湊：外形尺寸為 370mm×557mm×690mm，重量為 32kg，整體結構緊湊、重量輕，便于安裝和集成到各種設備中。