KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特點

無油干式運行：采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu)，避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染，特別適用于對潔凈度要求場合，如半導體制造、液晶顯示制造等。

抽氣能力強：最大抽速可達 20,000L/min，能快速有效地抽取氣體，可滿足不同應(yīng)用場景對真空度的需求。

極限真空度高：極限壓力可達到 0.1Pa 甚至更低，能夠提供高真空環(huán)境，滿足如半導體工藝中一些對真空度要求嚴苛的工藝步驟。

氮氣吹掃功能：支持氮氣吹掃，氮氣流量可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，通常能在 0 至 60SLM 范圍內(nèi)，增強了工藝的靈活性，可用于一些需要對腔體進行吹掃或保護的工藝。

高效節(jié)能：通過優(yōu)化機械結(jié)構(gòu)和采用新型加熱器系統(tǒng)等措施，實現(xiàn)了低功耗化，功率一般為 1.05kW 左右，相比一些傳統(tǒng)真空泵能耗更低。

小型化設(shè)計：外形尺寸較為緊湊，例如 MUP1200E 的尺寸約為 820×380×655mm，機身小巧，節(jié)省安裝空間，便于集成到各種設(shè)備或系統(tǒng)中。

冷卻水需求低：冷卻水流量僅需約 2L/min，對冷卻系統(tǒng)的要求不高，可降低運行成本和設(shè)備復雜度。

安全可靠：符合工業(yè)安全標準，配備高安全性防護設(shè)計，如過載保護、過熱保護等裝置，能在各種工況下穩(wěn)定運行，減少故障和意外發(fā)生的可能性。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴展應(yīng)用場景，能與其他型號的樫山真空泵或相關(guān)設(shè)備搭配使用，以滿足不同規(guī)模和復雜程度的真空系統(tǒng)需求。

應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導體制造、實驗室等眾多領(lǐng)域，可用于晶圓加工、蝕刻、鍍膜等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制，以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理。