關鍵特點

• 金屬隔膜直動結構，高氣密、低顆粒、零死角，適合高純與特種氣體。

• 與氣體接觸部位標配 EP 處理，可升級 UP 處理。

• 耐久性高，可達 3000 萬次以上，支持高速響應。

• 標準閥座 PCTFE，可選 PA/PI，適配更廣溫度與介質。

• 100% 氦質譜檢漏，外部 / 閥座泄漏≤5×10^-12 Pa?m3/s（實測）。

• 典型 Cv 約 0.4（6.35 mm），氣動操作壓力 0.45～0.60 MPa。

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選型與使用提示

• 如需高溫（至 200 ℃），選 PA/PI 閥座與對應型號。

• 若強調 “波紋管密封"，請核對型號是否為 FPR-91 或 FPR-ND-91；部分渠道將 “金屬隔膜閥" 誤稱為 “波紋管閥"。

關鍵功能與性能

• 結構與驅動：直動式金屬隔膜，氣動常閉（NC），響應快、低顆粒、零死角，適配高潔凈與特種氣體。

• 適用介質：特種氣體、真空；接觸部標配 EP 處理，可選 UP 處理。

• 材質與密封：閥體 SUS316L；標準閥座 PCTFE，可選 PA（PFA）/PI 以擴展溫度與介質適配。

• 壓力與溫度：最高壓力 1 MPa；使用溫度 - 10～80 ℃（換 PA/PI 閥座可至約 200 ℃）。

• 連接形式：雙壓縮環接頭，1/4" OD（6.35 mm）。

• 泄漏與壽命：100% 氦質譜檢漏；典型外部 / 閥座泄漏≤5×10^-12 Pa?m3/s；耐久性可達 3000 萬次以上。

• 流量與控制：6.35 mm 口徑典型 Cv 約 0.4；氣動操作壓力 0.45～0.60 MPa；可配電磁閥、位置反饋、加熱或表面處理等選件。