中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4458SC

中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4458SC

高解析度：采用專業(yè)開發(fā)的高輸出燈以及光學技術設計的投影鏡片，能夠?qū)崿F(xiàn)高效率的高解析度曝光，可滿足精細圖案的光刻需求。

大口徑投影鏡片：配備大口徑投影鏡片，大幅提高良品率，并達到高產(chǎn)能（Throughput）。

深焦點深度：焦點深度較深，厚膜光阻與變形膠卷均能適用，也可對非平面晶圓進行適當曝光，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。

自動對焦機能：具備自動對焦功能，可因應膠帶伸縮等情況，達到高重疊度，保證圖案對準精度。

適用多種基板和膠卷：適用于多種類型的基板，如玻璃基板、陶瓷基板、印刷電路板等，也能處理寬幅及薄型膠卷，膠卷寬度最大可達 165mm，厚度為 25μm（PI）。

高精度定位：采用TTL 非曝光波長對準系統(tǒng)，通過圖像處理分別檢測并固定掩模和工件的對準標記在 xy 坐標軸上，即使是整體涂鉻的小掩模，也能輕易識別工作記號，并且能通過選擇照明方式和波長提高低對比度標記的可見度，還能自動檢測基板伸縮導致的圖案變化并調(diào)整投影倍率，最大調(diào)整范圍為 ±0.1%，在沒有特定對準標記時，也可通過圖像識別對各種布線圖案進行對準，另外還有多種對準算法可供選擇以適應不同類型的對準標記。

掩模損傷小：投影曝光方式無需掩模與工件接觸，可避免掩模損傷，同時，自動掩模傳輸功能有助于減少因人為失誤導致的掩模損壞或工作類型錯誤，并且能夠在掩模盒中移動和安裝掩模，防止顆粒附著。

高均勻性照明：照明光學系統(tǒng)能有效集中光源發(fā)出的光，以高度均勻、高平行的方式照射掩模，通過在鏡面上實施特殊涂裝，可選擇曝光波長并阻隔熱線。

多種曝光方式支持：有多種高精度傳輸系統(tǒng)可適應不同工件，如硅晶圓、柔性基板和印刷電路板等，還具備可進行批量曝光的大面積曝光場以及適用于更大工作區(qū)域的步進 - 重復曝光臺，以支持各種曝光需求，實現(xiàn)高效穩(wěn)定的處理。

湖南中村貿(mào)易有限公司代理銷售品牌: 美國Temtop樂控、日本MALCOM馬康、KYOWA共和、NITTO日東工器、日本USHIO牛尾、TRUSCO中山、ASADA淺田、SATO佐藤 、AMADA天田、MIYACHI米亞基、KITZ開滋、SIBATA科學儀器、SEN、EYE巖崎、CCS、SENA、NPM、YAMADA、REVOX光源、SIMCO思美高、日本閥天VENN桃太郎、YASHIYAMA樫山工業(yè)、hondakiko本多機工泵、EIM泵、kawamoto川本泵、hitachi-pump日立泵、terada寺田泵、aichi-pump愛知真空泵、日本SOGO PUMP相互水泵、ARIMITSU有光泵、NOPGROUP日本油泵、NISHIGAKI西坦泵、KYORITSUKIKO共立機巧、daidopmp大同機械、TERAL泰拉爾、SANRITSUKIKI三立機器、EBARA荏原、V-TEX真空閥門、HORIBA、Osakavacuum大阪真空機器制作所、ATEC 愛泰克、TSUTSUI筒井理化學、FREEBEAR福力百亞、ISB井口機工、OTC焊條、SHIMIZUKOGYO 清水、YUKEN油研、Panasonic松下焊條、FUSO SEIKI扶桑精肌、HOZAN寶山、VESSEL威威、SSD西西蒂、BONKOTE邦可、MALCOM馬康、METCAL奧科、PISCO碧鑠科、OHTAKE大武、OPK鷗琵凱、ELM易之美、HAKKO EIGHTRON八興、KURABO、New-Era新時代、德國KAISER+KRAFT皇加力、YODOGAWA淀川、SUIDEN瑞電、TECHNO DESIGN、AQUA安跨、ORION好利旺、韓國SP、FURUTO古藤、SOKUDOU速度、KANE凱恩、日本KYORITSU共立理化、日本ADA水分計/微量電子天平   日本KETTI水分計  日本愛森(EISEN)針規(guī)、日本三高(SANKO)膜厚計、理研(RIKEN)水平儀、日本佐藤(SATO)溫濕度計、TASCO溫濕度記錄儀、JPG(螺紋環(huán)規(guī)、塞規(guī))、日本東日(TOHNICHI)、思達(CEDAR)扭力工具、日本勝利(VICTOR)鉗子、氣剪、SHINANO(信濃打磨機，拋光機)、SHOWA昭和振動計、日本中西(NSK)研磨工具、MINIMO研磨工具、日本愛光（AIKOH)、日本依夢達(IMADA)、SUCCESS成功推拉力計和引張力試驗機，日本大冢(OTSUKA)放大鏡、日本必佳(PEAK)放大鏡、日本得樂(TECLOCK)量具