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KASHIYAMA日本樫山工業(yè)真空泵NeoDry36G 無油干式設(shè)計(jì)：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓制造等。
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