日本USHIO牛尾MIKASA光刻機(jī)M-1S

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機(jī)M-1S

操作方式與對(duì)準(zhǔn)精度：屬于手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，使用對(duì)物鏡 20× 時(shí)，對(duì)準(zhǔn)精度 < 1.2μm，能夠較為精確地將掩模上的圖案對(duì)準(zhǔn)到晶圓或基板上，保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。

基板適用范圍：有可對(duì)應(yīng) 5×5mm - 100×100mm 以及 1 英寸 - 6 英寸的基板的各類機(jī)種，適用范圍較廣，

可滿足不同尺寸基板的光刻需求，無論是小型的實(shí)驗(yàn)用基板還是較大尺寸的半導(dǎo)體晶圓，都能進(jìn)行處理。

曝光波長(zhǎng)：曝光波長(zhǎng)為多頻率（h.i.g 線），這種多頻率的光源可以滿足不同光刻膠對(duì)曝光波長(zhǎng)的要求，提高了光刻機(jī)對(duì)不同光刻工藝的適應(yīng)性。

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